SJ6000 高精度工业激光干涉测量仪

　　中图仪器坚持以技术创新为发展基础，拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，历经20年的技术积累和发展实践，研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备，能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。

　　中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区，产品远销欧、美、东南亚等海外市场，坚持为客户提供高质量产品和服务。

　　中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展，自强不息、知难而上、勇于创新，为中国制造技术的加快速度进行发展贡献力量！

　　中图仪器SJ6000高精度工业激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，采取了激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性高的激光频率输出。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

　　在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检验测试，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

　　激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，经过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。

　　激光干涉仪的测量原理最重要的包含相位测量和位移测量。相位测量是经过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是经过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。

　　SJ6000激光干涉仪系统有着非常丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选不一样的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

　　其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

　　可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

　　可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

　　SJ6000高精度工业激光干涉测量仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

　　3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。

　　导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定能力。激光干涉仪能够最终靠测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。

　　机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，能够迅速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时做调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。

　　机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的重要的条件。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是不是达到规定要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。

　　除了上述应用，激光干涉仪还能够适用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还能够适用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时有效地发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。

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